夏秋之交，位于安徽省阜阳市颍东化工园区的安徽中科昊海气体科技有限公司一角，一辆气罐车正停靠充气，几天后，这辆车将载着5000立方米氖气，运往广东一家电子厂。
作为一家涵盖高纯稀有气体、高纯氢气、液氢等产品的综合性气体公司，看中昊源化工丰富的尾气资源，中科昊海于2019年在颍东“安家”。“我们依托中科院理化所的技术支撑，斥资上马高纯特种电子气体项目和高端氢能项目，填补了安徽生产高纯度稀有气体企业的空白。”企业总经理张峰介绍。
经过紧张筹备建设，中科昊海一、二期相继建成投产。其中，一期为高纯特种电子气体项目，主要生产氖、氦、氪、氙等高纯特种电子气体，应用于电子芯片制造、航空航天、军工等领域，有效缓解了我国目前高端电子特气严重依赖国际进口的局面。二期为高纯氢和液氢等高端绿色氢能项目，配套氢液化、液氢储运及加氢站的全套解决方案，可实现年产高纯氢640万立方米、液氢500吨。
就在两个多月前，该公司制作的液氢得到专家组测试验证——今年6月中旬，来自上海科技大学、中国科学院理化技术研究所、中国科学院合肥物质科学研究院的多位制冷与低温工程领域专家齐聚阜阳，对由北京中科富海低温科技有限公司与中国科学院理化技术研究所联合研发、设计、制造，安徽中科昊海气体科技有限公司应用的1.51PD氢液化装置进行现场性能测试验证。对液化率、产品仲氢含量、单位液化能耗等测试后，专家组形成结论，认为企业氢液化装置性能指标等满足考核要求。
高纯氢是一种终极清洁能源，大范围的应用于氢燃料电池车、加氢站、高端电子制造等领域。其中，液氢可大幅度的降低氢能源储存和运输成本，推动传统化石能源向清洁能源转变，可作为航天火箭发射燃料应用。去年12月27日，中科昊海1.5吨/天氢液化装置开车成功，顺利产出纯度达99.9999%的液氢，高端液氢实现了“阜阳造”。而此次测试验证，标志着中科昊海液氢生产的基本工艺和产品都达到了相关水平，为下一步在航空航天领域应用夯实了基础。
以高端技术与设备为依托，短短几年，中科昊海的优质气体产品实现产销两旺。截至目前，企业气氢产量跻身全省前三，销往省内合肥、芜湖、蚌埠等地。氪、氙等高纯特种电子气体作为光刻机的保护器，供应台积电、中芯国际等知名企业。
尤为值得一提的是，在厂区鲜见工人忙碌的身影。张峰介绍，公司制作自动化程度较高，各生产环节信息会定时传送到中控室做多元化的分析，利用互联网即可调度生产。
中科昊海厂区西侧，更长远的谋划在这里“起笔”——投资5亿元的三期集成电路和光电材料电子特气项目，将于9月份开工建设，计划明年6月份建成投产。项目利用昊源化工尾气资源，采用合成、低温分离、提纯等技术，生产电子级高纯一氧化碳、电子级高纯二氧化碳、电子级高纯氨及电子级混配气，进一步延伸产业链条。
“三期产品将大范围的应用于集成电路光刻机配套、OLED显示面板制造工艺、集成电路制造中的清洗工艺和蚀刻工艺等，未来市场发展的潜力非常广阔。”张峰说。（徐立成 武艳）
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