液氩大多数都用在金属焊接和切开,如关于轻金属、不锈钢或特别合金钢的焊接和切开运用最多的是以氩做雾气氛的氩弧焊。用于半导体精粹,工业上常用5%氢和95%氩混合气作为硅半导体精粹时的维护气氛。用于金属锻炼,在锻炼钛、锆等金属时,需在氩等慵懒维护气氛中进行复原反响,还用作锻炼特种钢时的脱气剂。在等离子体中的运用,由氩、氢的混合气作为等离子体可用于磁流体发电中,及电光源中的运用。
主要用途:用于焊接,不锈钢制作,锻炼,以及半导体工业中的化学气相淀积,晶体
成长,热氧化,外延分散,多晶硅离子注入载流烧结。用作规范气,零点气等。金属
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